北京理工大學倪國年、眭英在多年對陶瓷片研究的基礎上，2000年擬訂了《沿面放電陶瓷片的性能檢測與驗收標準》，2003年改進了沿面放電陶瓷片鎢電極鍍鎳的工藝。

2001年，很多企業開始對非玻璃放電體的研究。青島國林臭氧公司經過一年多的時間研制成功了DTA非玻璃放電體、高壓熔斷器、可控硅中頻電源、中頻變壓器等制造大型臭氧發生器的關鍵技術。

2003年，濟南三康臭氧科技公司劉勇總工對陶瓷介質材料進行試驗和研究，其研制的微間隙陶瓷管式臭氧放電室，匹配相應的IGBT電源，氧氣源臭氧濃度可達到122mg/L，2004年，實現了陶瓷管式臭氧發生器系列產品的定型。

同期，清華大學材料科學與工程系馬天、楊金龍等人也進行了相關的試驗。

2003年底，青島國林公司在國家建設部立項，研制氧氣源20kg/h中頻臭氧發生器，主要應用方向為我國對臭氧需求量日益增長的自來水行業，替代進口產品，該產品于2004年7月試機成功。11月4日在青島召開了氧氣源20kg/h中頻臭氧發生器鑒定會，由建設部科技司汪又蘭處長主持，專家委員會由清華大學環境科學與工程系王占生教授、華東理工大學環境工程研究所魏興義教授、杭州自來水公司洪覺民教授級高工、上海威迪雅自來水公司周云教授級高工、全國臭氧技術信息服務網李漢忠主任、上海市政工程設計研究院沈裘昌高工、青島市產品質量監督檢驗所宮象森高工等七人組成。鑒定會專家一致認為該項目技術成果填補了國家大型臭氧發生器技術空白，提高了中國臭氧產業技術水平。該項技術達到國際先進水平。

2008年，上市公司福建新大陸集團，開始參與臭氧發生器的研究，正式成為臭氧界一員。

       2009年，青島國林臭氧公司研發的氧氣源50kg/h臭氧發生器投入運行，是國林臭氧躋身于實際第四大臭氧公司，成為中國龍頭老大。